Chemical-Mechanical Polishing of Low Dielectric Constant Polymers and Organosilicate Glasses
Fundamental Mechanisms and Application to IC Interconnect Technology
Borst, Christopher Lyle/Gill, William N/Gutmann, Ronald J
€160.49
(inklusive MwSt.)
Verfügbarkeit: Besorgungstitel, Festbezug
Weitere Details
Erschienen: 30.09.2002
Umfang: xiv, 229 S.
Sprache: ENG
Einband: GEB
ISBN/EAN: 9781402071935
Umbreit-Nr.: 1625012
